第592章 美国人惹上这家人，真是倒了八辈子的血霉
一九九七年，十一月。上海，浦东。
秋雨连绵，打在“002所”灰色的外墙上，留下一道道深色的水痕。这栋不起眼的小楼，对外挂着“和记精密仪器维修中心”的牌子。
但如果有人能通过那是三道生物指纹锁和一道视网膜扫描门，就会发现里面的空气不仅干燥，而且充满了令人窒息的绝望。
地下二层，超净实验室。
“不行！还是不行！”
一声暴躁的怒吼打破了只有风机嗡鸣声的死寂。
一位头发花白的老专家狠狠地把手中的测试报告摔在桌子上。他是光学的泰斗，平日里温文尔雅，此刻却像是一头被困在笼子里的老狮子。
“193纳米波长的氟化氩激光，物理极限就是摆在那里的！”
老专家指着显微镜下的晶圆，手指都在颤抖，“无论我们怎么调整透镜的数值孔径（NA），无论我们怎么优化光刻胶，到了130纳米这个节点，光线就像是散了架的面条，根本刻不出清晰的电路！”
这就是“衍射极限”。
它是物理学设下的一道叹息之墙。
倪光南坐在一堆废弃的图纸中间，双眼布满血丝。
他手里紧紧攥着那块从ASML二手机器上拆下来的透镜组。
“老王，再试一次……”倪光南的声音沙哑，透着一股不肯认输的倔强。
“试什么？试多少次都是一样的！”老专家摘下眼镜，痛苦地捂住脸，“倪工，我们必须承认差距。西方人搞了几十年才摸到的门槛，我们想靠这几个人、几条枪，三年就冲过去？这是违背科学规律的！”
实验室里，几十名年轻的研究员垂着头，气氛压抑得让人想哭。
他们不缺钱，陈念给的预算甚至多到花不完。
他们也不缺人，全国最好的光学、电子、机械专家都在这里。
他们缺的是一条路。
一条能绕过物理法则，通往未来的路。
“要不……”有人小声嘀咕，“咱们就按那个TO协议，先做做低端？180纳米其实也够VCD用了……”
“放屁！”倪光南猛地抬头，眼神凶狠，“那是跪着要饭！咱们这代人跪了，以后孙子辈都站不起来！”
就在这时，气密门“嗤”的一声打开了。
陈山和陈念走了进来。
陈山穿着一件普通的夹克，手里依然盘着那对红得发紫的核桃。
他看了一眼满地的废纸，又看了看一脸颓丧的众人，脸上没有丝毫怒意，反而笑呵呵地走到饮水机旁。
“怎么？被鬼打墙拦住了？”陈山接了一杯水，轻轻晃了晃。
“陈先生，这不是鬼打墙，这是瑞利判据。”倪光南站起身，苦笑道，“我们在空气中进行光刻，空气的折射率是1。按照公式，我们已经被锁死在193纳米这个光源上了。要想更进一步，除非能造出波长更短的激光器，比如157纳米的氟气激光。但那个技术……哪怕是美国人，现在也还在实验室里摸索。”
“那就别用空气嘛。”陈山喝了一口水，语气轻松得像是在讨论晚饭吃什么。
倪光南愣了一下：“不用空气？那用什么？真空？”
“真空也不行，真空没有介质，折射率还是1。”旁边的老专家叹了口气，“陈先生，您是搞战略的，技术上的事……”
“我是不懂技术。”陈山走到实验台前，把那个装满水的纸杯放在了昂贵的光刻机镜头模型旁边。
他指了指杯子里的水。
陈山转过头，看着倪光南，“老倪，水的折射率是多少？”
倪光南下意识地回答：“纯水的折射率是1.44。”
话音刚落，倪光南的身体猛地僵住了。
就像是一道闪电，瞬间劈开了他混沌的大脑。
1.44。
公式：分辨率=k1*λ/NA。
如果介质的折射率从空气的1变成了水的1.44……
等效波长=193n1.44≈134n
不需要研发新的光源！不需要等待那个遥不可及的157纳米激光！只要在镜头和硅片之间加一层水，现有的设备就能直接突破物理极限！
“水……”倪光南喃喃自语，瞳孔剧烈收缩，“在镜头和晶圆之间……加水？”
“疯了！这简直是疯了！”旁边的老专家惊叫起来，“电子设备最怕水！而且水会产生气泡，会污染光刻胶，高速运动下水的张力怎么解决？这在工程学上是自杀！”
“工程学的问题，只要肯砸钱，总能解决。”陈念站在一旁，淡淡地补了一刀，“但物理学的问题，砸钱也解决不了。”
陈念从公文包里拿出一份文件，那是陈山根据后世记忆整理的《关于浸没式光刻系统的可行性猜想》。
“爸说得对。”陈念把文件递给倪光南，“为什么非要死磕空气？”
倪光南颤抖着手接过文件，只看了第一页的示意图，呼吸就变得急促起来。
那是一个极其大胆、却又在理论上完美闭环的设计。
利用水的折射率，将193纳米的光源“欺骗”成134纳米。这不仅仅是技术的突破，这是思维维度的降维打击！
“快！快！”倪光南突然像个疯子一样大吼起来，把手里的图纸撕得粉碎，“把那台ASML的废机器抬过来！拆掉工件台！给我准备去离子水！我们要改装！”
“倪工，这可是价值千万的设备……”
“拆！出了事我负责！”倪光南一把推开阻拦的研究员。
……
凌晨四点。
实验室里一片狼藉。那台原本精密的ASML光刻机，此刻被改得面目全非。核心曝光区域被加上了一个简陋的、甚至是用玻璃胶密封的注水槽。
“注水完毕。无气泡。”
“液面稳定。”
“光源预热完成。”
所有人的心都提到了嗓子眼。
陈山依然坐在角落里，手里盘着核桃，神色平静。陈念则站在倪光南身后，目光紧锁着监视器。
“曝光。”倪光南按下了红色的按钮。
“滋——”
看不见的紫外激光穿过透镜，穿过那层清澈的去离子水，最终轰击在涂满光刻胶的硅片上。
几秒钟后。
显微镜的图像被投射到了大屏幕上。
死寂。
又是死寂。
紧接着，是一声压抑不住的抽泣。
屏幕上，那些原本在干式光刻下模糊不清、粘连在一起的线条，此刻变得根根分明，锐利如刀。
那是90纳米级别的线条。
那是全世界都在梦寐以求、却始终无法触及的精度。
“成了……”刚才那个反对最激烈的老专家，此刻跪在地上，捧着脸痛哭流涕，“真的成了……竟然真的成了……”
实验室里爆发出了雷鸣般的欢呼声。有人把帽子扔上了天，有人抱在一起跳，倪光南靠在实验台上，摘下眼镜，擦去了眼角的泪水。
这一刻，他们跨越了整整两代技术鸿沟。
当西方还在为157纳米光源焦头烂额时，中国已经拿到了通往45纳米、甚至28纳米制程的钥匙。
“安静。”
陈念的声音带着一股冷意，瞬间让沸腾的实验室冷却下来。
他走到实验台前，看着那张代表着世界最高水平的显微照片。
“把照片销毁。”陈念冷冷地说道。
“什么？”倪光南愣住了，“陈总，这是重大突破！这是我们要向国家……”
“我说了，销毁。”陈念转过身，目光扫过在场的每一个人，“这项技术，列为绝密。除了这间屋子里的人，谁也不准透露半个字。”
“为什么？”年轻的研究员不解，“我们有了这个，就不怕美国人的封锁了啊！”
“因为我们要的不仅仅是技术，我们还要产业链。”陈念拿起那张照片，用打火机点燃。
火苗跳动，映照着他那张年轻却深沉的脸。
“如果我们现在公布，ASML和尼康会立刻跟进。以他们的工业底子，半年就能造出商用机。到时候，我们依然是被卡脖子的命。”
陈念看着化为灰烬的照片，嘴角勾起一抹狡黠的弧度。
“我们要让他们觉得我们失败了。我们要让他们觉得，中国人确实像巴尔舍夫斯基说的那样，只能造衬衫。”
陈念看向倪光南：“倪老，明天写一份报告。就说实验彻底失败，193纳米无法突破。我们需要向ASML购买更多的“报废”零件来维持低端研究。”
“我们要像一只贪婪的、却又无能的饕餮，把他们仓库里积压的那些镜头、光源、甚至是即将淘汰的生产线，全部吃进来。”
“等我们用这些“废铁”组装出一百台浸没式光刻机，等我们的芯片铺满全世界的时候……”
陈山站起身，笑着接过了话茬：“到时候，再告诉他们。”
倪光南看着这对父子。
一个老谋深算，一个步步为营。
他突然觉得，美国人惹上这家人，真是倒了八辈子的血霉。