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我一学渣,怎么还题压抑了?

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第360章 超新型配位团簇EUV光刻胶研发思路
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黄作平:“????” 袁泽成:“????” 众人:“????” 当林决说出这话后,在场众人目光一下就变得有意思了起来。 袁泽成的手在空中挥了,表情错愕,仿佛想说些什么,但又找不到合适的形容。 过了好半晌之后。 终于。 袁泽成才像是回过神来一般,带着些许不敢置信, “......已经想到合适方案!?” 林决微微点头, “是的,在组建班子的这两天里,我认真研究了下光刻胶新的可行思路......” 说到这里,他轻轻一笑, “大家都是业内专家,肯定也都清楚,目前全世界所有EUV光刻胶,无论是有机CAR,亦或者金属MOR...... 成像原理,无不都依赖于化学键。” “没错.....” 袁泽成闻言点头。 这件事情确实如林决所言。 无论是国内国外,目前关于光刻胶的研发,都是在光子照射,到分子键断开,然后结构破坏,最后溶解改变,完成材料。 虽然每家机构,在之中工程上有着明显差异,但底层逻辑,却是一样的。 “这已经是最成熟的方法了,但如果要创新,恐怕不是一朝一夕就能成,说不定更浪费时间......” 毕竟创新不但要花费大量人力物力试错。 而且最后的结果,也大概率达不到预期。 他更愿意的是...... 看到林决在已有的框架上,对产品进行优化。 “袁教授要不先听听我的想法?” 林决对袁泽成倒是没啥意见。 真理是辩出来的。 在研发过程中,工程师在意见不合时,拍桌子互骂的情景,再常见不过了。 再者...... 袁泽成作为魔都光机所的带头人。 刚被调过来打下手,可能目前还没适应身份。 劝林决,也几乎是职业养成的下意识反应。 袁泽成一愣,“额......您说。” 见状,林决便打开电脑的投影仪。 下一刻。 一个标题出现在众人眼中。 【笼促配位团簇EUV光刻胶研发思路】。 这个想法,其实早在冯宴发生意外前,林决便在考虑的了。 最后...... 先是通过开启【超频】找到思路,最后经过【全知】进行验证后。 林决终于完成了这套方案。 其核心思路。 是彻底抛弃化学键成像机制,利用自主构建EUV激发二次电子,通过静电场缔合,完成溶解度切换。 全程不破坏分子结构,不拖落配体! 其中,最让林决满意的是,这种方法从根源上....... 完全解决了传统光刻胶材料最大的问题——— 真空出气污染!! 目前全世界做法。 只要进行曝光,那么必然产生有机碎片。 如此一来,金属小分子便必然会挥发,然后逆流,给光路镜面,pelliCle薄膜造成污染。 这是传统方法不可逆的缺陷! 但林决却能大力出奇迹,直接窥探到一条全新路径。 ......... “笼促配位团簇?” 众人看着屏幕上那前所未闻的名词,神情都是有发懵。 见状,林决将PPT画面切掉,关于创新思路的相关理论出现在众人眼前。 “在我的新方案中,要用到的核心理论,来自于笼腔电子势自捕理论,配位零解离稳定,库仑场可控缔合,无扩散局域反应......” 这些理论在高端功能材料,配位凝聚态领域,都是非常前沿的分支。 在座作为国内顶尖材料方面学者,对其基本都是有所涉猎。 不过在他们印象中。 像库伦可控,局域无扩散这俩理论。 以往都是用于设计储能,电响应软物质的....... 众人还是头一次看到,有人将他们用到极紫外感光成像之中来! .......... 接下来的一个小时里。 林决从框架上,大概跟众人讲述了下自己的思路。 不过,由于其中理论有理论颇具深度,也只有像袁泽成这般的顶级工程师,才能勉强跟上。 等到阐述完毕后。 林决目光扫了眼众人,自信开口, “.......嗯,这套理论大概就是如此,大家可以先讨论讨论......有什么看法,等下也可以和我提。” 下方众人先是沉默了一会儿,然后,便开始了激烈的讨论。 “这套理论确实很让人惊讶,但让最后让静电作用于图案,如果工况稍微波动,到时候图形很可能全部漂移吧? 如此一来,品控照样难以保证。” “是啊,还有长期累积电子过载怎么办?笼结构可是非常容易崩解的!” “我怎么觉得这个想法非常惊艳啊! 而且在理论上来说,林教授的方法,基本可以做到完全根除光路污染,打破RLS制衡! 简直不要太牛逼。” “我赞成!我们如果走和国外研发同样的道路,估计永远追不上迭代速度。 林教授想法虽然激进了一些,但却有弯道超车的希望!” 会议室里,激烈的吵闹声混作一团。 黄作平见状,在一边对林决笑道, “林教授......看来大家都是活力满满啊。” 这样的争论从来都不是坏事。 重大的理论突破,颠覆性的技术革新,本就需要如此的淬炼才行!!! 始作俑者林决只是微微耸肩,以表无辜。 终于...... 在约莫十分钟的争论后,现场氛围终于逐渐缓和。 袁泽成作为在座最有资历的工程师,此时被推出来发问, “林......林教授,我还是有个疑虑......” “请说。” “笼促结构人工合成难度极高,您也清楚,只要存在少量破笼,整个EUV高能光子依旧会被打乱。 最后导致的结果,和真空污染其实并没有什么差别......” “是的。” 林决点了点头,并未否认这套理论的缺陷。 闻言,袁泽成继续道, “......从工程上来说,我们还没成熟的产业链......容错率太低,沉没到时候拉都拉不回来......”
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